[发明专利]一种大尺寸二碲化铂的化学气相沉积制备方法

摘要

本发明公开了一种大尺寸二碲化铂的化学气相沉积制备方法，方法在真空腔室内放入基片与金属铂靶材，通过石英晶振标定校准沉积速率，在室温条件下将金属铂沉积在基片上，之后在沉积炉中放入沉积铂的基片以及高纯度碲单质，将炉内抽至真空后通入载气，在一定的退火温度与时间条件下，对基片进行退火处理，退火结束后停止通入载气并将基片从沉积炉中取出完成制备。本发明方法所制备的二碲化铂厚度也可以通过改变所沉积铂的厚度进行调控，满足不同的实验要求，能够稳定制备出厘米级别大面积二碲化铂材料，较传统方法更加符合现代化工业制备二碲化铂的工艺要求。