[发明专利]一种热分解薄膜制备装置

摘要

本发明公开了一种热分解薄膜制备装置，包括升降台和反应室，所述升降台上设喷雾模块，所述反应室内设加热模块，衬底置于该加热模块上；所述喷雾模块包括设于所述升降台上的安装底板，该安装底板上设缓冲腔，所述缓冲腔的进气口与至少一组雾化单元连通，所述缓冲腔的出气口与伸缩管连通，该伸缩管通过连接管与喷嘴连接，所述伸缩管、连接管和喷嘴伸入所述反应室内，该喷嘴位于所述衬底上方位置，所述安装底板朝向所述反应室的一侧设有向外延伸的连接支架，所述喷嘴转动连接在所述连接支架上。本装置既适合透明导电氧化物薄膜材料(单元、多元和多层膜结构)，也可用于其他适合用热分解方法制备的薄膜材料制备。