[发明专利]一种用于纳米精度位移测量的系统和光栅传感方法有效
| 申请号： | 202210391782.0 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114963994B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 蒋维涛;刘红忠;王训韩;尹磊;史永胜;陈邦道 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01D5/32;G02B27/28 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 安彦彦 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于纳米精度位移测量的系统和光栅传感方法，通过在传统的反射式光栅上布置多列亚波长结构，使光在亚波长结构位置处产生相位突变，从而对光场进行重构，细化光场周期。在纳米级位移测量时，通过相位检测元件检测到的相位奇点作为周期细分节点，通过增加细分节点的方式提高光栅周期的拟合曲线精度。同时在位移解调算法上，将修正后的光场周期反馈给解调系统，进行高精度细分。在现有的光栅制造精度下，通过对光栅结构的优化，调控结构光场，实现纳米/亚纳米级精度位移测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 精度 位移 测量 系统 光栅 传感 方法 | ||
【主权项】：
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