[发明专利]一种取放结构、固晶设备及其工作方法在审
| 申请号： | 202210391821.7 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114664710A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 黄雄;刘卫 | 申请（专利权）人： | 深圳市昌富祥智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 深圳市中科云策知识产权代理有限公司 44862 | 代理人： | 温艳华;何晓 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种取放结构、固晶设备，包括工作台，工作台的两端对称设有取放固晶机构，取放固晶机构包括设置于工作台上方的主轴旋转电机和设置于工作台下方的安装架，主轴旋转电机的输出端穿插过工作台与安装架连接，安装架的两侧对称设有音圈电机，音圈电机的输出端设有安装座，安装座上设有摆臂；所述工作台上还设有多个视觉CCD和控制电磁阀，多个视觉CCD分布于取放固晶机构的两侧；本发明通过整体结构的设置，利用双摆臂交替运动，缩短时间，大大提高了产能效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 设备 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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