[发明专利]硅片烘干装置及烘干方法、制绒硅片后处理系统及方法在审
| 申请号： | 202210392583.1 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114812121A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 高永强;苏世杰;余义 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/10 | 分类号： | F26B9/10;F26B21/00;F26B25/00;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周孝湖 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅片烘干装置及烘干方法、制绒硅片后处理系统及方法，其中硅片烘干装置包括：烘干槽体；中空隔板，多块中空隔板间隔设于烘干槽体内，多块中空隔板将烘干槽体的内腔分隔形成多个硅片置放区，中空隔板的侧面开设有多个与中空隔板内腔连通的吹风孔；热风供应装置，与中空隔板的内腔连通，以向中空隔板的内腔中通入热风。本发明的硅片烘干装置及烘干方法、制绒硅片后处理系统及方法能够减少电池片的水渍印迹不良，提高电池片的良率、生产效率和电池效率，降低电池片的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 烘干 装置 方法 处理 系统 | ||
【主权项】：
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