[发明专利]制绒装置及制绒方法在审
| 申请号： | 202210392875.5 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114927443A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 高永强;苏世杰;余义;周守亮 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/20;C30B33/10 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周孝湖 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制绒装置及制绒方法，其中制绒装置包括制绒槽；花篮，设于制绒槽内，花篮包括花篮杆和多个花篮齿，多个花篮齿间隔设置在花篮杆上，相邻两个花篮齿之间形成置放空间，花篮齿的纵截面中部的宽度大于两端的宽度，纵截面与多个花篮齿在花篮杆上的排列方向上平行。制绒方法采用上述的制绒装置对硅片进行制绒，该制绒方法包括：在制绒槽内盛装制绒药液且放置花篮，花篮的置放空间内放置硅片，并使制绒药液完全淹没硅片。该制绒装置及制绒方法可使异质结电池片的花篮齿印比例大幅减少，且电池效率和平均产量有所提升。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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