[发明专利]一种匀胶喷嘴保湿装置及匀胶设备有效
| 申请号： | 202210392886.3 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114798264B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 华斌;张洋 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/55 | 分类号： | B05B15/55;B05C5/02;B05C11/08 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 储振 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种匀胶喷嘴保湿装置及匀胶设备，该匀胶喷嘴保湿装置包括盖体，设置于盖体下方且具中空结构的盒体，盖体形成供匀胶喷嘴垂直插入的插入孔；盒体内置竖直布置的溢流板，以通过溢流板将盒体的内部腔体划分为储液腔与保湿腔，盒体的侧部设置供保湿液流入储液腔的第一通孔；匀胶喷嘴插入所述插入孔，以闭合保湿腔与储液腔，第一通孔沿竖直方向的高度位于储液腔中的保湿液所形成的最高液位上方。在本申请中，通过呈封闭状态的保湿腔中由储液腔所容置的保湿液因挥发所形成的保湿气氛对匀胶喷嘴予以保湿，由此不仅有效地防止了胶嘴暴露于空气中因光刻胶固化而发生堵塞胶嘴的现象，确保了匀胶制程连续且可靠地予以执行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷嘴 保湿 装置 设备 | ||
【主权项】：
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