[发明专利]基于氧化石墨烯的湿度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210396980.6 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114923957A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 曹阳;祝俊怡;陈浩;范波 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开一种基于氧化石墨烯的湿度传感器，结构简单，响应时间更短，灵敏度更高。其包括：绝缘基底(1)、金电极(2)、氧化石墨烯薄膜(3)；绝缘基底是平整的，两个平行的金电极真空热蒸镀在绝缘基底上，这三者形成一个绝缘凹槽，在绝缘凹槽的上方设置氧化石墨烯薄膜。还提供了制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氧化 石墨 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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