[发明专利]太赫兹波段用小尺寸超薄单晶金刚石窗片及其制备方法在审
| 申请号： | 202210398248.2 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114775051A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 宋惠;易剑;江南;褚伍波;李赫;西村一仁 | 申请（专利权）人： | 宁波杭州湾新材料研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C30B25/20 | 分类号： | C30B25/20;C30B25/18;C30B25/16;C30B29/04;H01J23/12;H01J25/34;B24B1/00;B23K26/38;B23K26/402 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315336 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了太赫兹波段用小尺寸超薄单晶金刚石窗片的制备方法，包括以下步骤：(1)对单晶金刚石籽晶片进行微波等离子体化学气相沉积，刻蚀表面后同质外延生长单晶金刚石，得到单晶金刚石片；(2)加工步骤(1)得到的单晶金刚石片以达到目标尺寸；(3)将步骤(2)加工好的单晶金刚石片固定于相适配的多晶金刚石模板中进行抛光处理，脱模后得到所述的单晶金刚石窗片。本发明方法具有简单高效、可控性好、重复率高，能够实现批量加工且产品质量稳定性好的特点，制得的单晶金刚石窗片没有晶界，气密性好，且机械性能优异、介电损耗低、热导率高，能够满足太赫兹行波管在高频波段大功率连续输出需求。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 波段 尺寸 超薄 金刚石 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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