[发明专利]一种柔性电感及其制备方法有效
| 申请号： | 202210402507.4 | 申请日： | 2022-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN114843067B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 徐跃杭;王衍;郑文豪;延波 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学;钱塘科技创新中心 |
| 主分类号： | H01F17/00 | 分类号： | H01F17/00;H01F41/04;H01L23/64;H10N97/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 甘茂 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于柔性无源器件领域，具体提供一种柔性电感及其制备方法，用以解决现有柔性无源电感存在工作频段相对较低、应力限度较低、以及难以适合更复杂的应用环境等问题。本发明的柔性电感包括：柔性衬底层、平面螺旋金属层、柔性介质层及金属引线层；其中，采用特定厚度的Parylene‑N薄膜分别作为柔性衬底与柔性介质层，降低介电常数以提升器件的截止频率，提升器件的机械性能；并且匹配平面螺旋金属层于柔性衬底上、金属引线层于柔性介质层上的埋置结构，增强金属与Parylene‑N之间的结合强度，进一步提升器件的机械性能；同时，采用硅片载体剥离方法的制备工艺，使得本发明柔性电感不仅具有良好的电学性能和机械性能，还具有较强的温度稳定性、生物兼容性，拓宽了器件的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 电感 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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