[发明专利]一种单晶炉热场升级的装置及方法在审
申请号: | 202210408510.7 | 申请日: | 2022-04-19 |
公开(公告)号: | CN114753003A | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 王燕飞;王军磊;王艺澄 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B27/02 | 分类号: | C30B27/02;C30B29/06 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 周琪 |
地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶炉热场升级的装置,包括同轴的炉盖(1)、大直径主炉室(2)、大直径下炉体(3)和炉底盘(4),炉盖(1)和大直径主炉室(2)之间连有过渡法兰(5),大直径下炉体(3)和炉底盘(4)之间连有法兰缩颈(6);过渡法兰(5)的内径与炉盖(1)的内腔直径相同、其外径与大直径主炉室(2)的外径相同,大直径主炉室(2)内径大于炉盖(1)的内腔直径;法兰缩颈(6)的外径与大直径下炉体(3)的外径相同、其内径小于炉底盘(4)的外径,炉底盘(4)的外径小于大直径下炉体(3)内腔直径。本发明的优点是满足36吋或更大的热场安装和生产需求,提高单晶炉日单产量和单晶硅品质,降低设备投资成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉热场 升级 装置 方法 | ||
【主权项】:
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