[发明专利]一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置

摘要

本发明公开了一种多层嵌套反射镜位姿的悬挂式精密调整装置，装置包括反射镜、前辐板、底架、底盖板、托板、立柱、二维平台组件、前辐板固定组件、前辐板支撑组件、位姿测量组件、位姿调整组件、配重调节组件。其中，位姿调整组件由调整模组、压电陶瓷致动器、位姿调整杆、柔性吸附头组成；配重调节组件由调整模组、定滑轮、配重块、配重调节绳、柔性吸附头组成；位姿测量组件由测量支架和非接触传感器组成；二维平台组件由相应的运动模组及各类支板组成；托板由前辐板支撑组件支撑，由前辐板固定组件固定；反射镜位姿由位姿测量组件测得，并经由配重调节组件配重平衡后，由位姿调整组件、二维平台组件对其进行位姿调整。该装置操作方便，能够实现对反射镜的柔性吸附、对反射镜自重进行抵消、实现反射镜整体式移动对中、并减小前辐板在作用力施加和卸载前后本身的不可逆形变，最终提高多层嵌套反射镜的装调精度。