[发明专利]用于感应耦合等离子体（ICP）负载的双频匹配电路在审
| 申请号： | 202210416678.2 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN114975062A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 龙茂林 | 申请（专利权）人： | 北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人： | 梅丹丹;阎敏 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了用于在等离子体处理装置或其他应用中发电的匹配电路。匹配电路提供在统一的物理外壳中，并被配置为在多个不同的频率提供阻抗匹配。例如，在双频实施中，第一和第二RF发生器可以以连续模式或脉冲模式在第一和第二各自的频率向包括第一和第二电路部分的匹配电路提供电磁能。第一电路部分可以包括一个或多个第一调谐元件，被配置为在第一频率接收RF功率并为第一ICP负载(例如，主感应元件)提供阻抗匹配。第二电路部分可以包括一个或多个第二调谐元件，被配置为在第二不同频率接收RF功率，并为第二ICP负载(例如，辅感应元件)提供阻抗匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 感应 耦合 等离子体 icp 负载 双频 匹配 电路 | ||
【主权项】：
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