[发明专利]一种绿色可见光催化辅助金刚石化学机械抛光液在审
| 申请号： | 202210419368.6 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114806413A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 金洙吉;杨辉鹏;牛昊;沈煜 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 许明章;王海波 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种绿色可见光催化辅助金刚石化学机械抛光液，属于超硬材料超精密加工领域。使用由氧化剂、磨料、可见光光催化剂、螯合剂和去离子水组成的抛光液在可见光照射下对金刚石化学机械抛光，所述抛光液氧化剂的浓度为15wt％～25wt％，磨料浓度为40～80g/l，可见光光催化剂的浓度为0.02667～0.2667g/l，螯合剂浓度为0.5～2mM，去离子水的重量百分比为67％～81％。抛光后，表面粗糙度为0.111nm，材料去除率为416nm/h。本发明实现了绿色、高效、高质量化学机械抛光金刚石。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绿色 可见 光催化 辅助 金刚石 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
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