[发明专利]一种透明的氮化镓基晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 202210419893.8 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114899232A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 刘志宏;赵雪利;许淑宁;何佳琦;邢伟川;冯欣;杨伟涛;周瑾;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学广州研究院;西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/20;H01L29/45;H01L29/47;H01L21/335 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 段俊涛 |
| 地址： | 510555 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于氮化镓的透明晶体管及其制备方法，该结构自下而上依次包括衬底层、沟道层、势垒层以及位于势垒层上的电极；其中衬底层采用透明材料，沟道层材料为氮化镓，势垒层材料为镓铝氮或铟镓氮，电极采用透明导电材料。本发明提供了一种氮化镓基晶体管，通过选取可见光区间透明的材料制备晶体管，改善了结构的整体透光率，并提出了可行的制备方法，可将其应用于透明电子学领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 氮化 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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