[发明专利]一种纳米复合高熵氮化物涂层及其复合沉积方法在审
申请号: | 202210431786.7 | 申请日: | 2022-04-22 |
公开(公告)号: | CN114807849A | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 张腾飞;刘彦甫;李海庆;王启民 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/32;C23C14/02;C23C14/35;B82Y30/00 |
代理公司: | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人: | 侯腾腾 |
地址: | 510006 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明涉及表面涂层技术领域,具体涉及表面耐磨减摩防护涂层材料技术领域,特别涉及一种纳米复合高熵氮化物涂层及其复合沉积方法。本发明公开了一种纳米复合高熵氮化物涂层,所述纳米复合高熵氮化物涂层为非晶SiNx包裹高熵(TiAlCrNbV)N纳米晶的复合结构;所述纳米复合高熵氮化物涂层的分子式为Ti |
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搜索关键词: | 一种 纳米 复合 氮化物 涂层 及其 沉积 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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