[发明专利]一种纳米复合高熵氮化物涂层及其复合沉积方法在审

专利信息
申请号: 202210431786.7 申请日: 2022-04-22
公开(公告)号: CN114807849A 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 张腾飞;刘彦甫;李海庆;王启民 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/32;C23C14/02;C23C14/35;B82Y30/00
代理公司: 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 代理人: 侯腾腾
地址: 510006 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及表面涂层技术领域,具体涉及表面耐磨减摩防护涂层材料技术领域,特别涉及一种纳米复合高熵氮化物涂层及其复合沉积方法。本发明公开了一种纳米复合高熵氮化物涂层,所述纳米复合高熵氮化物涂层为非晶SiNx包裹高熵(TiAlCrNbV)N纳米晶的复合结构;所述纳米复合高熵氮化物涂层的分子式为TiaAlbCrcNbdVeSifN,所述纳米复合高熵氮化物硬质涂层采用脉冲电弧和直流磁控溅射Si靶在基体表面沉积得到。本发明的纳米复合高熵氮化物涂层采用非晶包裹高熵纳米晶的复合结构,具有高温机械性能、高膜基结合力、优秀的热稳定性、高温抗氧化性和高温耐磨减摩性能,可应用于金属零部件的高速切削加工。
搜索关键词: 一种 纳米 复合 氮化物 涂层 及其 沉积 方法
【主权项】:
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