[发明专利]一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置有效
| 申请号： | 202210433071.5 | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN114850163B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 孙先淼;周训丙 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/14;B08B3/08;B08B3/02;B01D29/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215316 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体加工技术领域的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，旨在解决现有技术中装置在长期使用后，会在滤芯处积攒着大量的碎屑，其需要工作人员停机定期进行拆装清理的问题。其包括清洗槽、三通管和缸体，清洗槽内设有喷淋机构和承载机构；承载机构包括可相对于清洗槽上下移动的承载台和复位组件，承载台上设有推拉杆，推拉杆的一端贯穿清洗槽底部后设有活塞，活塞滑动连接于缸体内；清洗槽底部设有排水口，排水口与三通管的进水口相连通；本发明适用于晶圆清洗，能够对滤芯进行反向冲洗，使得积攒的碎屑清除，并将携带有碎屑的少量清洗液分离排出，从而达到了无需操作人员频繁拆装更换滤芯的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 清洗 循环 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于智程半导体设备科技（昆山）有限公司，未经智程半导体设备科技（昆山）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210433071.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种手柄总成测试方法
- 下一篇：一种车门避障控制方法、装置和设备
