[发明专利]一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法在审

专利信息
申请号: 202210433817.2 申请日: 2022-04-24
公开(公告)号: CN115411215A 公开(公告)日: 2022-11-29
发明(设计)人: 肖正国;李智兼 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;B82Y40/00
代理公司: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 卢敏
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种转移高质量的金属卤化物钙钛矿薄膜及纳米结构的方法,是先将钙钛矿溶液旋涂在PDMS上,再将其压到目标衬底上并剥离PDMS,过程中通过将其压在有纳米结构的凹型硅片模具上,还可使钙钛矿形成相应纳米结构。本发明的方法可在不改变薄膜形貌和光电性能的前提下,将钙钛矿薄膜转移到各种衬底上,且利用该方法可以制备并转移各种不同形状不同尺寸的高分辨率钙钛矿纳米结构,分辨率可以高达1270ppi,为全彩照明和显示提供了新的方法。
搜索关键词: 一种 转移 质量 金属 卤化物 钙钛矿 薄膜 纳米 结构 方法
【主权项】:
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