[发明专利]一种高纯电子级甲苯生产方法及装置在审
| 申请号： | 202210441800.1 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN114656324A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 孙津 | 申请（专利权）人： | 北京袭明科技有限公司 |
| 主分类号： | C07C7/04 | 分类号： | C07C7/04;C07C7/144;C07C15/06 |
| 代理公司： | 北京卓爱普专利代理事务所(特殊普通合伙) 11920 | 代理人： | 王玉松 |
| 地址： | 100192 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流程短、能耗低、分离效果好、工艺连续性强、纯度高、杂质含量低的高纯电子级甲苯生产方法及装置，得到满足电子化学品SEMI C12(G4)标准以上的高纯电子级甲苯产品。工业级甲苯经过脱水处理器脱除大部分水分，进入微过滤器，脱除颗粒为0.2μm以上颗粒，进入阴阳离子脱除器，脱除甲苯中大部分阴阳离子，然后进入常规精馏塔或隔壁精馏塔，得到的产品甲苯通过纳滤滤除10nm以上颗粒，得到最终满足SEMI C12(G4)标准以上的高纯电子级甲苯产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 电子 甲苯 生产 方法 装置 | ||
【主权项】：
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