[发明专利]涂布设备的缓冲装置和涂布设备在审
| 申请号： | 202210443792.4 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN114669447A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 朱小冬;谈太奇;陈超爱;卢超;蒋浩 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;武汉京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 张筱宁;宋海斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种涂布设备的缓冲装置和涂布设备，缓冲装置包括：缓冲桶、进液管道和出液管道。缓冲桶具有相对设置的第一端壁和第二端壁。进液管道的出口，位于缓冲桶内并朝向第一端壁。进液管道的出口与第一端壁之间的距离小于进液管道的出口与第二端壁之间的距离。出液管道的入口，位于缓冲桶内并靠近第二端壁。进液管道的出口与出液管道的入口之间的距离不小于设计距离。本申请实施例中的光刻胶从进液管道的出口注入缓冲桶时在压力的作用下会先朝向第一端壁喷出，避免与出液管道的入口接触，进液管道的出口与出液管道的入口之间距离较远，减少混合在即将从出液管道的入口流出的光刻胶内的气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 布设 缓冲 装置 | ||
【主权项】：
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