[发明专利]一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法在审
| 申请号： | 202210448963.2 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114858065A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 董茂进;王小军;冯煜东;韩仙虎;蔡宇宏;秦丽丽;王毅;王冠;马凤英 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730010 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，涉及薄膜材料检测领域。所述柔性硅氧烷薄膜是在柔性基底表面用PECVD方法镀制的硅氧烷薄膜，所述方法包括以下步骤：取样：取柔性基底及其表面镀制的硅氧烷薄膜作为检测样品，所述检测样品由于应力作用使其截面呈圆弧状；检测：将所述检测样品置于低倍光学显微镜的观测台上，测量圆弧弦长以及弧顶到弦中心的距离，推导出圆弧的曲率半径；计算：根据stoney公式，计算得到柔性硅氧烷薄膜厚度。柔性透明硅氧烷薄膜厚度难以进行测量，基于薄膜存在应力的特点，根据薄膜曲率推导计算薄膜厚度，该方法过程简单，测试仪器要求不高，检测结果准确，适合生产企业对产品进行检验测试使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 柔性 硅氧烷 薄膜 厚度 方法 | ||
【主权项】：
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