[发明专利]复眼主动对焦匀光系统在审
| 申请号： | 202210449809.7 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114706278A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 张昌清;张立;刘涛 | 申请（专利权）人： | 浙江津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州汇和信专利代理有限公司 33475 | 代理人： | 薛文玲 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复眼主动对焦匀光系统，涉及光刻直写曝光机及投影显示技术领域。本发明包括基板，基板的上侧设有第三镜片、滑动配合有两个矩形框，矩形框内滑动配合有固定框、一侧固定有固定板，固定框的一侧固定有连接板，连接板的上侧转动配合有第一螺纹杆，且第一螺纹杆贯穿固定板并螺纹配合在固定板内，两个固定框内分别装设有第一镜片和第二镜片。本发明通过伺服电机的作用方便带动第二螺纹杆进行转动，进而方便让第二螺纹杆带动矩形框在基板和支撑架之间进行滑动，通过转动转把方便带动第一螺纹杆进行转动，进而带动固定框在矩形框的内部进行滑动，进而方便调节固定框内第一镜片或第二镜片的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 复眼 主动 对焦 系统 | ||
【主权项】：
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