[发明专利]一种在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法在审
申请号: | 202210452879.8 | 申请日: | 2022-04-27 |
公开(公告)号: | CN114755754A | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 郭建设;刘保卫;张磊;王刚;朱国宜;韩道森;赵静轩;王楠楠 | 申请(专利权)人: | 中航光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B6/00 | 分类号: | G02B6/00 |
代理公司: | 洛阳华和知识产权代理事务所(普通合伙) 41203 | 代理人: | 刘亚莉 |
地址: | 471003 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及一种在光波导板上外置斜面结构实现光束转向的方法,在光波导板上制作出具有一定深度的凹槽,保持凹槽的底面和侧面光滑;再采用热风回流工艺,控制热风回流的温度和时间,对凹槽的侧面进行处理,使凹槽侧面逐渐趋于平整,从而增加凹槽侧面的光滑度,降低其粗糙度;最后在显微镜或者CCD的观测下放置调整准备好的斜面镜,使反射的光束角度符合设计要求;或者,采用在线检测光功率的办法确保斜面镜的放置位置最优,最后采用粘接剂固定斜面镜。本发明在光波导板上外置斜面结构用来实现光束转向,可以根据光束转向的位置设计开槽深度及斜面镜固定位置,灵活性强,为未来光波导互连的应用提供了一种新的解决方案。 | ||
搜索关键词: | 一种 光波 导板 外置 斜面 结构 实现 光束 转向 方法 | ||
【主权项】:
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