[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法，能够抑制形成于基板表面的图案倒塌。本公开的一个方式的基板处理装置包括批处理部、单张处理部以及搬送部。批处理部对包括多个基板的基板组一并进行处理。单张处理部对基板组中包括的基板逐张地进行处理。搬送部在批处理部与单张处理部之间逐张地交接基板。另外，批处理部具有处理槽，该处理槽用于贮存包含冲洗液的处理液。另外，搬送部具有流体供给部，在从接受到处理槽内的基板组中包括的基板起至将该基板交接到单张处理部为止，所述流体供给部向处理槽和基板中的至少一方供给表面张力比冲洗液的表面张力低的低表面张力流体。