[发明专利]一种耐高压防护器件以及制作方法在审
| 申请号： | 202210466661.8 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114899218A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 杜明;裴国旭;李会羽;陈锡均 | 申请（专利权）人： | 深圳市国微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/74;H01L21/332 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 欧国聪 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请适用于半导体器件技术领域，提供了耐高压防护器件，包括衬底、掩埋层以及外延层，衬底、掩埋层以及外延层依次层叠设置；基于外延层，由外延层边缘任一点指向中心点方向依次设置有第一阱以及高压阱；并在第一阱上设置有第一有源区；高压阱具有三个封闭的环形空置区域，在三个环形空置区域分别设置有第二阱、第三阱以及第四阱；并在第二阱、第三阱以及第四阱上均设置第二有源区、第三有源区以及第四有源区；在高压阱上设置有第五阱，在第五阱设置有第五有源区定，从而解决了现有技术中SCR器件无法应用于超高耐压场合的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压 防护 器件 以及 制作方法 | ||
【主权项】：
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