[发明专利]一种提升p型含氧金属化合物薄膜迁移率的方法

摘要

本发明公开一种提升p型含氧金属化合物薄膜迁移率的方法，通过在p型含氧金属化合物薄膜中掺杂原子，所掺杂的原子的最外围轨道能和氧2p轨道形成化学键，能提高价带顶部的散度和增加价带顶的斜率，故而能提高提升p型含氧金属化合物薄膜迁移率。可以是，所掺杂的原子的最外围轨道为2s或3s轨道，或者所掺杂的原子的最外围轨道具有3d10电子排布模型。通过掺杂成键，能降低空穴迁移的能量势垒，提升迁移率。