[发明专利]一种双波长复合激光干涉仪系统有效
| 申请号： | 202210478556.6 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN114739286B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 刘海庆;解家兴;魏学朝;张际波;揭银先 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01B9/02003 | 分类号： | G01B9/02003 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 陈旭红 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双波长复合激光干涉仪系统，包括远红外干涉仪光路模块、双波导、微波干涉仪光路模块和双层平台；远红外干涉仪光路模块包括远红外波段气体激光器、远红外激光器台面光路和远红外激光干涉仪光路器件；远红外激光干涉仪光路器件用于进行分束，并接收角反射镜返回的光束；微波干涉仪光路模块包括两台微波固体源和微波干涉仪光路器件，用于进行分束并将微波光束和远红外光束进行合束，实现角反射镜的振动误差补偿。本发明实施例提供的双波长复合激光干涉仪系统，可以精确测量等离子体中心到边界多个位置的等离子体电子密度，其中一束光束由两种波长的激光同时共线测量，可以对装置顶部角反射镜进行振动补偿，提高了干涉仪的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 复合 激光 干涉仪 系统 | ||
【主权项】：
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