[发明专利]用于制造结晶膜的方法在审
| 申请号： | 202210479527.1 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN114836833A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 大岛佑一;河原克明;四户孝;松田时宜;人罗俊实 | 申请（专利权）人： | 株式会社FLOSFIA;国立研究开发法人物质·材料研究机构 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B25/16;C30B25/18;C30B25/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 王东贤;朴圣洁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的方面，用于制造结晶膜的方法包括气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中到基板上；以及将反应气体供应到反应室中到基板上，以在反应气体的气流下形成结晶膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 结晶 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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