[发明专利]一种压电复合薄膜黑化的方法及黑化压电复合薄膜在审
| 申请号： | 202210484597.6 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN114883477A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 郑姗姗;刘金鹏;韩智勇;胡卉;胡文;李真宇;刘亚明 | 申请（专利权）人： | 济南晶正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/253 | 分类号： | H01L41/253;H01L41/27;H01L41/083 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区港*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开一种压电复合薄膜黑化的方法及黑化压电复合薄膜，先对所述黑化的压电晶圆进行离子注入，将所述黑化的压电晶圆依次分为余质层、分离层和压电薄膜层；然后将离子注入后的黑化的压电晶圆与所述衬底基板键合，得到键合体；之后在氧气气氛下，对所述键合体进行一次退火处理，得到压电复合薄膜；最后在氢气气氛下，对所述压电复合薄膜进行二次退火处理，使所述压电薄膜层黑化，得到黑化压电复合薄膜。本申请中压电复合薄膜中压电薄膜层经过氢气二次退火处理后，氧空位浓度增加、电阻率减小，实现对压电薄膜层的黑化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 复合 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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