[发明专利]一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法有效
申请号: | 202210487652.7 | 申请日: | 2022-05-06 |
公开(公告)号: | CN114842627B | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 高树良;王人松;刘海;陈湘伟 | 申请(专利权)人: | 连城凯克斯科技有限公司 |
主分类号: | G08B21/18 | 分类号: | G08B21/18;G08B21/24;H05K7/20 |
代理公司: | 无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625 | 代理人: | 李晶晶 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于碳化硅生产技术领域,具体的说是一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法,包括反应炉,所述反应炉内部贯通连接有提拉杆,所述反应炉内部固定有多个预警环,所述预警环内部固定有多个导温块,所述预警环内部且位于导温块的外部开设有储气仓,所述储气仓两侧均滑动连接有挤压塞,所述挤压塞外部固定有检测环,所述检测环外部滑动连接有变阻器,所述变阻器与预警环固定连接;通过设置预警环,当反应炉内的温度出现变化时预警环内的温度也会同时出现变化,当反应炉内的温度出现变化不均时储气仓内的压强出现差异从而使得变阻器的阻值发生改变,进而进行报警,避免继续冷却对碳化硅造成损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 生产 预警 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
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