[发明专利]大面积钙钛矿膜层的退火方法、退火设备及其应用在审
| 申请号： | 202210490439.1 | 申请日： | 2022-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN114843409A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王保增;方主亮;孙建侠;钱家栋;范春琳;田清勇;范斌 | 申请（专利权）人： | 昆山协鑫光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 何胜男 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种大面积钙钛矿膜层的退火方法、退火设备及其应用。所述钙钛矿膜层的退火方法，包括：以选定波长的光按照设定辐照强度和设定辐照时间辐照钙钛矿膜层，实现一次退火；在完成一次退火后，采用加热装置对所述钙钛矿膜层进行均匀加热，实现二次退火。本发明提供的钙钛矿膜层的退火方法，先将中间相的钙钛矿层经过短时间的选定波长的光预退火，以达到快速去除溶剂、改善界面接触的作用，然后将预退火过的钙钛矿层通过加热装置进行二次退火，即采用较稳定的均匀性较好的退火方式，从而继续长晶，实现更好的结晶质量。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 钙钛矿膜层 退火 方法 设备 及其 应用 | ||
【主权项】：
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