[发明专利]冷源晶体管器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210493952.6 申请日: 2022-05-08
公开(公告)号: CN114843401A 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 何百哲;司佳;张志勇;彭练矛 申请(专利权)人: 北京大学;北京元芯碳基集成电路研究院;北京华碳元芯电子科技有限责任公司
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40
代理公司: 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 代理人: 李晓辉
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开提供一种冷源晶体管器件,包括:基底层;冷源层,冷源层设置于基底层;条带层,条带层与冷源层连接,并通过相同材料制备;栅介质层,栅介质层的部分形成于冷源层的部分,栅介质层的部分覆盖条带层的部分;栅电极,栅电极设置于栅介质层;其中,冷源层和条带层连接的界面形成为同质结,栅介质层覆盖同质结。本公开还提供一种冷源晶体管器件的制备方法。
搜索关键词: 晶体管 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
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