[发明专利]抑制微通道板紫外光响应的方法及微通道板在审

专利信息
申请号: 202210497955.7 申请日: 2022-05-09
公开(公告)号: CN114975067A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 邱祥彪;余庆龙;王健;孙越强;胡泽训;金戈;林焱剑;常远;赵胜;宋淳;贾帅 申请(专利权)人: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司;中国科学院国家空间科学中心
主分类号: H01J43/24 分类号: H01J43/24;H01J9/12
代理公司: 南京行高知识产权代理有限公司 32404 代理人: 王培松;王菊花
地址: 211106 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种抑制微通道板紫外光响应的方法及微通道板,在MCP本底基础上,通过物理气相沉积或者蒸镀等方式在微通道板输入面以及通道内镀制具有禁带宽度大、紫外光透过率高且具有较高二次电子发射系数的功能膜层材料,如氧化镧、氧化硅、氧化铝、氮化铝、氮化硅、氧化镁、氟化镁等单一膜层材料或者其多种材料形成的复合膜层。通过制备此种功能膜层,可以显著抑制MCP对于紫外光信号的响应,将MCP对于紫外光的响应程度降低两个数量级以上。
搜索关键词: 抑制 通道 紫外光 响应 方法
【主权项】:
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