[发明专利]一种基于超表面结构锚定的纯相位空间光调制器

摘要

本发明公开一种基于超表面结构锚定的纯相位空间光调制器，该空间光调制器的主要结构包括：由上而下依次设置的上基板和下基板，所述上、下基板之间填充有双折射材料，下基板包括具有锚定和像素点电压调制功能的基底，基底朝向上基板的表面分布有纳米砖阵列与覆盖在纳米砖阵列上的一层介质材料，上基板面向双折射材料的表面内具有取向层。本发明采用全介质材料制纳米砖阵列，提高空间光调制器件的集成度与紧凑度，提升对调制信号的响应速度，同时对于双折射材料具有底层取向角和预倾角的锚定功能，有效避免了因传统空间光调制器封装制备工艺固有取向精度的限制和固有工艺误差。