[发明专利]等离子体电源和等离子放电方法在审
| 申请号： | 202210504639.8 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN114928266A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 田修波;欧科军 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | H02M9/06 | 分类号： | H02M9/06;H02M1/32;H02M7/04;H02H7/12;H05H1/16 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 姚大雷 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种等离子体电源和等离子放电方法。该等离子体电源包括交流开关、主控制器、多个脉冲模组和等离子体装置；交流开关连接并联的多个脉冲模组，用于接入交流电；主控制器连接并联的多个脉冲模组，用于向相应的脉冲模组输入相应控制信号，以使各个脉冲模组将交流电转换为对应的脉冲信号输出，各个脉冲模组输出的脉冲信号用于形成组合脉冲信号；多个脉冲模组连接等离子体装置，等离子体装置用于根据组合脉冲信号进行等离子体放电。本发明实施例通过主控制器向组合的多个脉冲模组发送控制信号以使各脉冲模组按照预定输出模式输出相应的组合脉冲信号，从而实现高频、高电压、大电流的脉冲输出。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 电源 等离子 放电 方法 | ||
【主权项】：
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