[发明专利]一种金刚石膜片制作方法在审
| 申请号： | 202210505935.X | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN114892141A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 张坤锋;李熙规;张粉红;陈永超 | 申请（专利权）人： | 化合积电（厦门）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/511;C23C16/02;C23C16/56;C30B28/14;C30B29/04;B24B7/22 |
| 代理公司： | 北京精翰专利代理有限公司 11921 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 361023 福建省厦门市集*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石膜片制作方法，包括以下步骤：S1、选择合适的基板，对基板进行清洁；S2、在基板上形成金刚石晶种；S3、使用微波等离子体气象沉积方法或者热丝反应法方法使金刚石生长；通过退火消除了热失配造成的热应力问题，使金刚石膜片具有更好的机械性能，减少加工过程中由于内部应力导致的晶片曲翘、破裂等问题，提高加工良率，采用本发明方法生产多晶金刚石膜片，经过抛光之后表面粗糙度能达到0.1～10nm，可以做为晶圆级衬底，应用于外延生长；也可以用于金刚石和器件的键合；也可以选择性的在金刚石膜片上做金属化镀膜做为器件热沉片，发挥金刚石良好的散热性能，延长功率器件的使用寿命，节约大功率器件的能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 膜片 制作方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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