[发明专利]一种自支撑的MEMS红外光源及其制备方法在审
| 申请号： | 202210505995.1 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN114890373A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 陶继方;树东生 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 250013 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体光电元器件技术领域，具体公开了一种自支撑的MEMS红外光源及其制备方法，MEMS红外光源包括由下到上依次设置的硅衬底、介质薄膜、加热电阻和黑体辐射层，所述加热电阻通过金属剥离工艺形成图形结构，所述黑体辐射层位于加热电阻的中间区域，所述硅衬底背面通过刻蚀形成贯穿硅衬底的背洞区域，位于黑体辐射层下方的介质薄膜被刻蚀掉。本发明所公开的MEMS红外光源及其制备方法由加热电阻自支撑，其在MEMS红外光源工作时，因为减少了加热电阻下面的介质薄膜，可以减少黑体辐射层与硅衬底之间的热传导，从而提高MEMS红外光源的工作温度，进一步提高MEMS红外光源的响应速率和辐射效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 mems 红外 光源 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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