[发明专利]一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置在审
| 申请号： | 202210506944.0 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN114654609A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 孙涛涛;吴拓 | 申请（专利权）人： | 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525 | 代理人： | 王红印 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市衡山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，包括防尘室，所述防尘室的内部一端安装有载盘搬运架，所述防尘室的内部另一端安装有机械手，所述防尘室的一侧设有铲片机构；所述铲片机构包括安装于所述防尘室一侧的机架，设于所述机架上表面的载盘装载组件，以及设于所述机架内部的定位组件，所述载盘装载组件包括安装于所述机架上表面的装载架，以及设于所述装载架内部、且安装于所述机架上表面的装载盘。本发明能够推动晶圆载盘，使得晶圆载盘进行定心，防止仅限制晶圆载盘位移，而造成的机械手需要较高的精密度，才能完成准确的定心。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一体化 蓝宝石 自动 装置 | ||
【主权项】：
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