[发明专利]一种提高氟化钙晶体193nm激光辐照硬度的方法在审
| 申请号： | 202210507490.9 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN114941170A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 寇华敏;苏良碧;王华进;姜大朋;张博;王静雅;钱小波;张中晗 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B33/02;C30B29/12 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;牛彦存 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种提高氟化钙晶体193nm激光辐照硬度的方法。所述方法通过控制氟化钙原料中具有与F心波函数重叠的低位s轨道与d轨道的杂质阳离子含量来避免氟化钙晶体中F心、H心和M心的形成，降低氟化钙晶体中的氟空位浓度以及降低氟化钙晶体中的氧浓度的一种或多种的组合来提高氟化钙晶体的辐照硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 氟化钙 晶体 193 nm 激光 辐照 硬度 方法 | ||
【主权项】：
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