[发明专利]惯性传感器以及惯性测量装置在审
| 申请号： | 202210508551.3 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN115342795A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 永田和幸 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5649 | 分类号： | G01C19/5649;G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种惯性传感器以及惯性测量装置，防止针对过度冲击的可动体的贴附。一种惯性传感器(1)，在将相互正交的三轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，检测基于Z轴的位移的物理量，其中，所述惯性传感器具备：基板(10)；可动体(21)，固定于基板(10)，并绕沿着X轴的摆动轴(P)摆动，且具有相互对置的两个平面(21a、21b)和将它们之间连接的侧面(21c、21d)；以及限制部(19)，固定于基板(10)，并与可动体(21)的侧面(21c、21d)对置，可动体(21)在与限制部(19)对置的部分具备弹性部(25)。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 以及 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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