[发明专利]氧化镓微米线制备方法、日盲紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供一种氧化镓微米线制备方法、日盲紫外探测器及其制备方法，其中的氧化镓微米线制备方法包括以下步骤：S1、将β‑Ga2O3粉末与碳粉末按照预设比例混合研磨后得到混合原料粉末；S2、将原料粉末放置在组合石英舟内，并将组合石英舟放入炉管中，通入Ar气后开始升温过程；S3、升温过程结束后达到预设生长温度，通入Ar气和O2气的混合气体开始氧化还原反应；S4、经预设时间氧化还原反应结束，自然冷却后得到氧化镓微米线。本发明提供的氧化镓微米线制备方法具有以下优点：具有简易的操作步骤，制备过程有较强的可重复性，减少了来自衬底盖片的干扰，避免了Au催化剂在微米线中的残留。