[发明专利]一种铟钨氧化物靶材及其制备方法

摘要

本发明提供了一种铟钨氧化物靶材及其制备方法，属于光电材料技术领域。本发明先将化学计量比的氧化铟和氧化钨混合，经过煅烧使二者能够完全固相反应得到In6WO12；通过在氧气氛围中进行煅烧可以抑制氧空位的产生，进而提高产物的致密度；将In6WO12与氧化铟、水、分散剂和粘结剂混合后进行压力注浆，提高In6WO12相在靶材中的分散程度，同时进一步提高靶材的致密度；通过脱脂处理去除分散剂和粘结剂，结合台阶变温烧结，使得到的靶材组织细化均匀、致密度高。实施例的实验结果表明，本发明提供的制备方法制备的铟钨氧化物靶材的相对密度为98.1～99.6％。