[发明专利]电迁移测试结构及测试方法在审
| 申请号： | 202210511290.0 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN114899176A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 杨素慧;杨盛玮 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杜娟;骆希聪 |
| 地址： | 430079 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电迁移测试结构和测试方法。该测试结构包括：目标结构、第一连接结构、第二连接结构和第三连接结构，其中，目标结构包括第一端和第二端，第二端与第一端相对设置；第一连接结构从目标结构的第一侧与第一端连接；第二连接结构从目标结构的第二侧与第一端连接，第二侧与第一侧相对设置；第三连接结构从目标结构的第二侧与第二端连接。本发明的电迁移测试结构通过在目标结构的至少一端同时电连接两个连接结构，使测试电流通过该两个连接结构进入目标结构，在降低了单个连接结构中的电流密度的同时可以向目标结构中施加相对较大的电流，避免了改变目标结构的失效模式，节约测试时间。 | ||
| 搜索关键词： | 迁移 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
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