[发明专利]近空间升华装置、钙钛矿膜层及其制备系统和方法、电池在审
| 申请号： | 202210512265.4 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN114892130A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 李明;王学戈;李明洁;邵君;于振瑞 | 申请（专利权）人： | 无锡极电光能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56;H01L51/48;H01L51/42 |
| 代理公司： | 石家庄旭昌知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 13126 | 代理人： | 雷莹 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备钙钛矿骨架层的近空间升华装置、钙钛矿膜层及其制备系统和方法、电池，本发明的近空间升华装置，其包括依次连通设置的进片腔室、近空间升华腔室和出片腔室，以及用于传送盛放有基片的基片架的传动机构，且基片架为沿高度方向间隔布置的多层；进片腔室和近空间升华腔室通过第一阀门相连，并在进片腔室内设置有用于驱使放置有基片架的第一基底载台升降的升降机构；因升降机构驱使第一基底载台升降，各基片架被依次输送至与第一阀门相适配的高度，并由传动机构传送至近空间升华腔室内。本发明的近空间升华装置，能够实现基片架在高度方向上的位置调整，进而实现基片的连续输送，而可提高该近空间升华装置的作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 升华 装置 钙钛矿膜层 及其 制备 系统 方法 电池 | ||
【主权项】：
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