[发明专利]集成电路缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202210512379.9 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN115015289A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 王琬箐 | 申请（专利权）人： | 重庆长安汽车股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人： | 谭小琴 |
| 地址： | 400023 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路缺陷检测方法，包括：S1：将不同层的集成电路芯片设计网表进行检测区域的划分；S2：将不同检测区域添加标记；S3：在晶圆的制造过程中，将集成电路芯片设计网表上的标记通过制造工艺转移到晶圆上，对不同检测区域编制对应的自动扫描程序；S4：自动光学检测设备根据检测区域的标记调用该检测区域所对应的自动扫描程序来进行扫描检测，并在晶圆缺陷检测完毕后，将缺陷检测结果上传至缺陷检测系统，针对不同区域缺陷选择性取样;S5：通过缺陷检测系统将取样位置传送至扫描电子显微镜或电子显微镜进行拍照，并将拍摄的图像结果反馈至缺陷检测系统进行综合分析。本发明提高了集成电路缺陷检测的效率和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆长安汽车股份有限公司，未经重庆长安汽车股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210512379.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高压旋喷桩用浆液搅拌装置
- 下一篇：汽车发动机及发动机控制方法
