[发明专利]单元的监测方法、装置、设备和存储介质在审
| 申请号： | 202210512909.X | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN115113008A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 李敏超;赵春雨;陈昱安;郭善明 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种单元的监测方法、装置、设备和存储介质，该方法包括：当确定存在目标单元时，将目标单元的工作模式切换为监测模式，目标单元是设备中存在硬件故障或工艺条件不良的单元，在监测模式下目标单元保持锁定状态，在锁定状态下，产品晶圆不能进入目标单元，产品晶圆是用于集成半导体器件产品的晶圆；在不对设备进行停机的情况下，对目标单元进行监测；当监测完成但监测结果未出来时，保持目标单元处于所述锁定状态。本申请通过在光阻覆盖显影设备的控制模块中增加监测模式，在监测模式下能够在不对设备进行停机的情况下对目标单元进行监测，从而解决了相关技术中提供的单元的监测方法由于需要对设备进行停机所导致的耗费时间的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 单元 监测 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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