[发明专利]用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构在审
| 申请号： | 202210515324.3 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN114870539A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 卢鹏斐;陆波;杨振域;王超;郑岳亮 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/90 | 分类号： | B01D46/90;B01D46/88;B01D46/00 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构，包括支管路，支管路的两端分别连接有泵和喷头，支管路上沿水流方向依次设有第一支管道三通、支管道两通球阀和第二支管道三通，第一支管道三通与第二支管道三通之间设有与支管路并联的主管路，主管路的两端分别与第一支管道三通与第二支管道三通连接，主管路上沿水流方向依次设有第一主管路两通球阀、透明过滤器、由令、第二主管路两通球阀和流量计。本发明通过增加支路，可以在设备基本不停机情况下进行透明过滤器清理，有效提高设备的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减少 外延 水洗 尾气 处理 维护 时间 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中环领先半导体材料有限公司，未经中环领先半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210515324.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
