[发明专利]用于隔离激光系统中的增益元件的系统和方法在审
| 申请号： | 202210526374.1 | 申请日： | 2015-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN114976827A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 陶业争;R·罗基斯基;D·J·W·布朗;D·J·格里斯;M·卡特斯;J·T·斯特瓦特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;H01S3/223;H01S3/23;H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 傅远 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于保护激光产生等离子体(LPP)极紫外(EUV)光系统中的种子激光器的方法和设备。被定位在光路上的隔离级使从LPPEUV光系统中的进一步的部件反射的光转向，以免到达种子激光器。隔离级包括通过延迟线分离的两个AOM。AOM当打开时将光引导到光路上，并且当关闭时将光远离光路引导。由延迟线引入的延迟被确定为使得AOM的打开和关闭可以被定时以将前向移动的脉冲引导到光路上并且在其他时间使反射光转向。隔离级可以被定位在增益元件之间，以防止放大的反射光到达种子激光器和其他潜在的有害效应。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 隔离 激光 系统 中的 增益 元件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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