[发明专利]一种perc电池的扩散退火工艺有效
| 申请号： | 202210529617.7 | 申请日： | 2022-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN114823983B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 章康平;刘凯;孙建;李家栋;刘勇 | 申请（专利权）人： | 一道新能源科技（衢州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/22;H01L21/223 |
| 代理公司： | 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 | 代理人： | 包琳 |
| 地址： | 324022 浙江省衢州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及perc电池技术领域，具体地说，涉及一种perc电池的扩散退火工艺。其包括以下步骤：将扩散炉石英管连接三氯氧磷扩散源，升温，通入携带扩散源的氮气和氧气至石英管中进行饱和工作；将硅片插入至石英舟，并将装满硅片的石英舟放置在碳化硅臂浆上，缓缓推入至扩散炉中；通入氧气，将石英管升温，通入氧气和携带扩散源的氮气，进行扩散；扩散结束后，温度持续下降一次退火，退火前加入氧气和足量的携带扩散源的氮气，温度缓缓下降，通入氧气和氮气进行二次退火；该perc电池的扩散退火工艺中，在退火工作时，进行两次退火工作，可保证退火工作时，进入使得硅片内部磷源充足，在降温时进行磷源的持续性补充。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 perc 电池 扩散 退火 工艺 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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