[发明专利]一种可靠性提升的激光器芯片及其制备工艺在审
| 申请号： | 202210529975.8 | 申请日： | 2022-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN115189225A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 张晓光;张文超;焦山明;李月;唐强 | 申请（专利权）人： | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/02 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张彬 |
| 地址： | 458030 河南省鹤壁市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种可靠性提升的激光器芯片及其制备工艺，用以解决边发射激光器容易端面失效的技术问题。本发明激光器芯片包括衬底，衬底背面设有N面电极，衬底正面设有外延材料，外延材料的顶层为欧姆接触层，外延材料中设有波导，波导附近区域为波导区域；外延材料表面设置有绝缘介质层，波导区域和绝缘介质层上设置有P面电极，但波导区域中的欧姆接触层上不设置绝缘介质层，P面电极与欧姆接触层相接触；激光器芯片端面的区域设有无电极区，无电极区上方不设置绝缘介质层和P面电极。本发明还包括上述激光器芯片的制备方法。本发明在激光器端面设有无电极区，无电极区达到提高COD阈值水平、提升可靠性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可靠性 提升 激光器 芯片 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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